1062-微機電工程與應用-51017

報名期間：從 即日起 到 無限期
上課期間：從 2018-02-01 到 2018-06-30

• 緒論
• ........ Introduction to IC technology and applications
• ........ MEMS overview
• ........ An introduction to MEMS
• ........ cmos vs mems
• ........ MEMS market and their possible future
• ........ there is plenty of room at the bottom
• ........ 底下空間還很大_理查費曼
• 單元一 微機電科技簡介
• 單元二 半導體製程與設備
• ------- 半導體製程與設備_補充
• 單元三 微感測器技術
• 單元四 微制動器技術
• Linear Microvibromotor for positioning optical components
• 單元五 光學微機電系統技術
• 單元六 生醫微機電技術
• 單元七 微流體元件技術